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高純氧氣是一種無色無臭無味氣體，分子式是O2。
純度≧99.995%。塵埃(φ≧0.5μm)≦3.5粒/L，雜質含量N2≦10 cm3/m3，Ar≦5cm3/m3，H2O≦lcm3/m3，CO2≦0.5cm3/m3。無色無臭無味氣體。氧不可燃，但助燃。相對密度ds(21.1℃，空氣=1)1.105。氣體密度1.326kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度1141kg/m3(- 182.96℃)。 沸點- 182.96℃。熔點-218.78℃。
高純氧用于二氧化 的化學氣相沉積；作為氧化源與產生高純水的反應劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質；在冶金工業中有廣泛應用。還可用于水質處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。
